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该方法使得能够选择从范围广泛的材料的籽衬底的材料。该方法使得能够通过执行所述牺牲层以具有成本效益的方式,简单的选择性蚀刻不是由抛光基于循环技术进行拆卸处理后回收以容易的方式处理衬底的剩余部分。该方法能够确保回收不降低操作衬底的厚度为操作衬底覆盖有所述牺牲层,使得所述操作衬底被无限重复使用,从而节约成本相比,转移和循环的一个部分的过程硅衬底处理。

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该方法可以选择一个材料的承印物的种子从范围广泛的材料。 这种方法可使循环再用剩余的一部分处理的基材在一个简单地执行一个摘下后通过执行过程简单的选择性蚀刻的献祭中的一层具有成本效益的方式由一个抛光的回收利用技术。 这种方法可以确保回收并不降低厚度的基材的处理的处理基材是涵盖的献祭图层中,这样处理的基材是无限重复使用,从而节省了成本比较时,进程的转移和一部分回收的硅处理纸张。

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该方法可以从范围广泛的材料中选择一种种子衬底材料。该方法使通过由抛光为基础的循环再造技术比具有成本效益的方式执行简单选择性蚀刻的牺牲层执行分离过程后以轻松的方式回收的句柄基体的其余部分。该方法可以确保回收意味着不减少的句柄衬底厚度如句柄衬底满是牺牲层,这样无限地重复使用句柄衬底,从而节省成本相比转移和回收硅衬底中的句柄的一部分的过程时。

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方法使能选择种子基体的材料从大范围材料。方法在进行一个分开的过程以后使能回收把柄基体的剩余部分以容易的方式通过执行牺牲层数的简单的有选择性的蚀刻以有效的方式比由一个基于擦亮的回收的技术。

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方法使能选择种子基体的材料从大范围材料。 方法在执行一个分开的过程以后使能回收把柄基体的剩余的部分以容易的方式通过执行牺牲层数的简单的有选择性的蚀刻以有效的方式比由一个基于擦亮的recycling技术。 方法使能保证回收不减少把柄基体的厚度,当把柄基体用牺牲层数盖,因此无限地重复利用把柄基体,因而花费的挽救,当与转移和回收硅把柄基体时的部分的过程比较。
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