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提供轻松的由硅锗的晶格参数是从支撑基板的晶格常数不同的应变层的简单方法。

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提供了一种简单的方法放松紧张了层的硅锗的窗棂参数不同于格栅参数的支持的纸张。

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提供放松紧张的层数,由其晶格参数是不同的晶格参数的支持衬底的硅锗的简单的方法。

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提供放松紧张的层数一个单一方式由格子参量是与支持基体不同的格子参量的硅锗制成。

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提供一个简单的方式relaxing被劳损的层数由格子参量是与支持基体不同的格子参量的硅锗制成。
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