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的zn1 xMgxO薄膜沉积过程中使用的生长参数,如前体剂量,吹扫时间和ALD的周期的数量的MgO和ZnO进程。

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Growth parameters such as precursor doses, purge times, and the number of ALD cycles of the MgO and ZnO processes were used in the Zn1xMgxO film deposition process.

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生长参数,如前体的剂量,清除倍,和在 Zn1xMgxO 薄膜沉积过程中使用了限期周期的氧化镁、 氧化锌的进程数。

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成长参量例如前体药量、清除时间和MgO和ZnO过程的ALD周期的数量用于Zn1  xMgxO影片证言过程。
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